学科：机械工程
化学气相沉积是一种用化学方法使气体在基体材料表面发生化学反e84f02ce23d2177b7542b3be0db8aaa8应并形成覆盖层的方法。该技术在多个前沿高精尖技术领域有着广泛的应用：合成多种半导体材料，用于微电（试读）...
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