学科：机械工程
化学气相沉积是一种用化学方法使气体在基体材料表面发生化学反应并形成覆盖层的方法。该技术在多个前沿高精尖技术领域有着广泛的应用：合成多种半导体材料，用于微电子器件的制备和集成电路的制造；制（试读）...
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